依據《北齊書?慕容儼傳》的記載：「城中有神祠一所，俗號城隍神，公私每有祈禱，於是順士卒之心，乃相率祈請，冀獲冥祐。」這說明了在南北朝時代，民間已經建立廟宇祭祀「城隍」。到了唐朝時，各地陸續興建城隍廟，城隍信仰逐漸普遍，地方官員如：韓愈、杜牧、李商隱等，都有撰寫〈祭城隍文〉以祭祀城隍神。五代十國時，城隍被封為王，於是就有城隍爺的稱呼。到了宋朝時，城隍廟已遍及各地，朝廷也十分重視城隍的祭祀，不僅賜贈廟匾，也封贈王爵，並列入官方的祭典。民間更將歷代忠良孝悌賢德的人視為是城隍的化身加以崇拜，如宋朝時的文天祥也被奉為北京城隍爺。明太祖朱元璋篤信城隍，認為城隍是陰間的行政官，和陽間的地方行政官相同，都有自己的管轄區域，於是把首都的城隍封為「王」，府城隍封為「威靈公」，州城隍為「靈祐侯」，縣城隍為「顯祐伯」，從此城隍就有了爵位等級之分。此外，城隍廟的名稱也有特別的規定，依管轄區域的不同，稱縣為「縣城隍」、州為「州城隍」、府為「府城隍」、省則為「都城隍」，而首都的城隍稱為「天下都城隍」，同時也把城隍廟的建築與官署規格相同。此時的城隍已變成陰間的地方行政長官，並且在一定範圍的轄區內，可以行使問案、判決的權利。清朝時，朝廷對城隍的崇敬更是有增無減，不但以城隍為護國佑民之神，更命令各省、府、廳、縣要建立城隍廟，祭祀城隍則列為國家祭典。新任的地方官在上任前一定要到城隍廟舉行奉告典禮，而後才能開始辦公。此外，每個月的初一、十五時，地方官員也必須前去城隍廟祭拜，以表示對城隍的尊重。