後藤新平認為，地籍和人籍的調查是施政的根本，1903年9月，土地調查尚未完成之前，即著手籌畫臺灣戶口的調查，這不但是台灣首次科學的人口普查，也是近代日本最早的國勢調查。近代日本實施國勢調查之前，統計學者曾經組織各種學會進行國勢調查的研究，認為國勢調查是對社會狀態種種面向的觀察，調查結果得以判斷國家的狀態和形勢。後藤新平早年留學德國，曾經參觀過德國統計局，對德國的人口調查留下深刻印象，擔任民政長官之後，對於推動台灣施行人口調查亦不遺餘力。1903年12月，總督府技術官僚水科七三郎奉命前往台灣各廳，視察國勢調查和統計相關業務；隔年2月，針對各地方廳統計施行的狀況和得失，提出完整的報告。總督府為增進官員對統計知識和國勢調查知識的了解，也派遣講習生到東京參加統計講習會，台北也曾舉辦統計講習會，警官練習所亦針對此訓練地方警員，日本統計局長花房直三郎更應邀到台灣演講，對臨時台灣戶口調查實施前的人員訓練煞費苦心。第一次臨時台灣戶口調查於1905年10月1-3日展開，台灣人部分調查內容，包括受調者之氏名、戶主及其關係者、種族、男女關係、出生日期、職業、副業、常用語言、常用語言以外熟悉的語言、識字程度、是否有疾、是否纏足或吸食鴉片；日本人則有原籍、渡台時間、現住地等；外國人則有國籍一項。第一線的調查委員主要包括巡查、巡查補、學校教員，以及熟悉當地語言者或街庄役場的書記，保正、甲長、街庄社長則給予必要的協助。調查委員受上級指揮，實施調查前必須熟諳臨時台灣戶口調查各項規定和法令，誠實且敏捷地擔當任務，對於調查內容必須保密，不得向他人洩漏，以當時台灣約三百萬人口計算，每個調查員平均約負責調查500人。第一次臨時台灣戶口調查的結果，總督府發行《街庄社別人口表》1冊、《廳、支廳、堡、里別各種表》20冊、《總覽表》1冊及《論文》1冊，應用於各種行政及民間設施的推行，1905年12月，總督府公佈戶口規則，原有地方機關的戶籍資料作廢，而改以警察所製作的戶口調查簿作為戶口資料的基礎。